更新時間:2022-11-16
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。21W系列具有超低壓損,滿量程壓損可達(dá)480 Pa。21W系列可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場合,尤其是要求低壓損的應(yīng)用場合。
免費(fèi)咨詢:86-021-59966206
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列
應(yīng)用及案例
● 低溫容器檢測
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測
● 汽車制造
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)可控:質(zhì)量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度:可優(yōu)于0.5 %讀數(shù)
● 量程可控比寬,0.5~100 %滿量程
● 滿量程超低壓損最di為480 Pa
● 閥門響應(yīng)時間快,優(yōu)于100 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM,
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級:
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
重復(fù)性 ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體,請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比 0.5~100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 % 滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關(guān),標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±(0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程) 精度升級部分見左下角
±(0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(可選)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差
重 復(fù) 性 ±(0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±(0.08 % 讀數(shù)+ 0.02 % 滿量程)/ Atm
(從校準(zhǔn)壓力開始)
控制響應(yīng)時間(T63,用戶可調(diào)) 小閥門:30 ms;R閥門:150 ms
顯示響應(yīng)時間 127 ms(用戶可調(diào))
預(yù)熱時間 < 1 s
默認(rèn)標(biāo)況(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
閥門功能 常閉型
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95 %,無冷凝
最大工作壓力 0.3 MPa表壓,進(jìn)出口最大允許瞬時壓差70 Kpa
最di操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ± 0.75 %讀數(shù)(>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@19200波特率;模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT
EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU(RS232 / RS485)
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC
供電電流 250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢),額外加 40 mA(4-20 mA)
電氣接口 DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、
玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金
R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過程連接 詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求,R閥門需閥體垂直向上安裝
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)